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一种制作声表面波传感器敏感膜的方法专利登记公告


专利名称:一种制作声表面波传感器敏感膜的方法

摘要:本发明公开了一种制作声表面波传感器敏感膜的方法,该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上,滴涂混合溶液并真空烘干而形成,该混合溶液是在TiO2胶体溶液中均匀分散聚苯胺PAn粉末形成的。本发明提供的这种制作声表面波传感器敏感膜的方法,通过将PAn粉末加入TiO2溶液中制作聚合敏感膜,掺杂后的PAn/TiO2传感器与纯的PAn传感器相比,选择性,灵敏度和检测质量也会有一定的提高。

专利类型:发明专利

专利号:CN201110050069.1

专利申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所

专利发明(设计)人:李冬梅;汪幸;刘明;周文;侯成诚;闫学锋;谢常青;叶甜春;霍宗亮;龙世兵

主权项:一种制作声表面波传感器敏感膜的方法,其特征在于,该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上,滴涂混合溶液并真空烘干而形成,该混合溶液是在TiO2胶体溶液中均匀分散聚苯胺PAn粉末形成的。

专利地区:北京