一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法专利登记公告

专利名称：一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法

摘要：本发明公开了一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法，包括：利用石墨、无水硝酸钠、浓硫酸与高锰酸钾制备氧化石墨；利用该氧化石墨制备石墨烯；将该石墨烯与氧化锌溶于乙二醇溶液，超声振荡得到混合溶液；用移液器吸取该混合溶液滴涂在器件的敏感膜上，真空干燥得到石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜。本发明利用石墨烯优异的电子传导特性，通过电导率的变化来改变频率的变化，从而达到检测气体的目的。所用的是掺杂氧化锌的石墨烯，能大大提高敏感膜敏感度。石墨烯是通过化学分散法合成的，相比微机械剥离方法可控性高，可以大规模的生产。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110050073.8

专利申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所

专利发明（设计）人：李冬梅;周文;刘明;侯成诚;汪幸;闫学锋;谢常青;霍宗亮;张满红;龙世兵

主权项：一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法，其特征在于，包括：利用石墨、无水硝酸钠、浓硫酸与高锰酸钾制备氧化石墨；利用该氧化石墨制备石墨烯；将该石墨烯与氧化锌溶于乙二醇溶液，超声振荡得到混合溶液；用移液器吸取该混合溶液滴涂在器件的敏感膜上，真空干燥得到石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜。

专利地区：北京