镀膜装置专利登记公告

专利名称：镀膜装置

摘要：一镀膜装置，其包括腔体及收容于腔体内的转盘、工件挂具及靶体。工件挂具包括一定位轴、两偏心轮、一保持架、两往复轴及一承载板。定位轴及保持架设于转盘上，且彼此能相对转动，两偏心轮轴心沿定位轴轴向固定在定位轴上，且偏心方向相反，各偏心轮边缘设有一环形滑槽。保持架收容偏心轮及定位轴，定位轴固定于转盘上，保持架随转盘转动且能自转，两往复轴分别对应两偏心轮滑动设置于保持架上，各往复轴一端可滑动地卡合于偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于承载板的端部，当保持架相对定位轴转动，两偏心轮分别驱动两往复轴沿定位轴径向作往复运

专利类型：发明专利

专利号：CN201110051076.3

专利申请（专利权）人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

专利发明（设计）人：吴佳颖;廖名扬

主权项：一种镀膜装置，其包括一个腔体、一个转盘、至少一个工件挂具及至少一个靶体，所述转盘、工件挂具及所述靶体设于腔体内，其特征在于，所述工件挂具包括一个定位轴、两个偏心轮、一个保持架、两个往复轴及一个承载板，所述定位轴及保持架设置于所述转盘上，且彼此能够相对转动，所述两个偏心轮的轴心沿所述定位轴的轴向固定于所述定位轴上，且偏心方向相反，所述各偏心轮的边缘设有一环形滑槽，所述保持架收容所述偏心轮及所述定位轴，所述定位轴固定连接于所述转盘上，所述保持架随所述转盘一起转动且能够沿保持架自身中心轴转动，所述两个往复轴分别

专利地区：广东