一种真空泵用排气装置专利登记公告

专利名称：一种真空泵用排气装置

摘要：本发明涉及真空泵设备，具体地说是一种真空泵用排气装置，包括外罩、排气管、传输管及进气法兰，其中排气管设置在外罩内，排气管的顶端由外罩穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管安装在外罩内，在外罩的外表面设有进气法兰，该进气法兰的一端与真空泵相连，另一端与外罩的内部连通；由进气法兰进入外罩内的气体经传输管、通过排气管排出至尾气处理装置。本发明使真空泵排出气体在外罩内迂回流动，先通过传输管后再由排气管3排出至尾气处理装置，使气体中含有的粉尘落到外罩底部，降低了排出气体中的粉尘含量，避免工艺制程中产生粉尘颗粒堵塞排

专利类型：发明专利

专利号：CN201110052774.5

专利申请（专利权）人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司

专利发明（设计）人：张振厚;王光玉;秦柏林

主权项：一种真空泵用排气装置，其特征在于：包括外罩(5)、排气管(3)、传输管(4)及进气法兰(8)，其中排气管(3)设置在外罩(5)内，排气管(3)的顶端由外罩(5)穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管(4)安装在外罩(5)内，在外罩(5)的外表面设有进气法兰(8)，该进气法兰(8)的一端与真空泵相连，另一端与外罩(5)的内部连通；由进气法兰(8)进入外罩(5)内的气体经传输管(4)、通过排气管(3)排出至尾气处理装置。

专利地区：辽宁