用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法专利登记公告

专利名称：用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法

摘要：本发明提供了一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、干涉仪热漂移系数的测量系统和干涉仪热漂移系数的测量方法，所述用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。达到了精确、方便地得到干涉仪热漂移系数η的目的。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110053279.6

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：王珍媛;张志平;吴萍;张晓文;池峰

主权项：一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。

专利地区：上海