三氯氢硅生产方法和系统专利登记公告
专利名称:三氯氢硅生产方法和系统
摘要:三氯氢硅生产方法和系统。该方法包括步骤:提供具有第一入口、第二入口、第三入口和出口的氢化反应器;将四氯化硅和氢气混合后加热到590-610℃;将混合加热后的四氯化硅和氢气引入氢化反应器的第一入口;将气态二氯二氢硅引入氢化反应器的第二入口;将硅粉引入氢化反应器的第三入口;从氢化反应器的出口导出包含氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的氢化反应产物;以及从氢化反应产物中提纯分离三氯氢硅。本发明增加了反应速率并因此提高了生产效率。另外,本发明还将二氯二氢硅从氢化反应产物中分离出来,气化后仍通回氢化反应器中,并在
专利类型:发明专利
专利号:CN201110053508.4
专利申请(专利权)人:内蒙古盾安光伏科技有限公司
专利发明(设计)人:陈琳;齐林喜;刘占卿
主权项:?一种三氯氢硅生产方法,包括步骤:提供具有第一入口、第二入口、第三入口和出口的氢化反应器;将四氯化硅和氢气混合后加热到590?610℃;将混合加热后的四氯化硅和氢气引入氢化反应器的第一入口;将气态二氯二氢硅引入氢化反应器的第二入口;将硅粉引入氢化反应器的第三入口;从氢化反应器的出口导出包含氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的氢化反应产物;以及从氢化反应产物中提纯分离三氯氢硅。
专利地区:内蒙古
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