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一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法专利登记公告


专利名称:一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法

摘要:本发明涉及一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法,在超光滑的玻璃母板上镀制Pt分离层,再镀制X射线多层膜,然后均匀喷涂液态环氧树脂,在真空环境下将超薄的铝片基底压在上面,环氧树脂高温固化后,铝片基底、固化的环氧树脂、X射线多层膜以及Pt分离层作为整体与玻璃母板自动分离即可。本发明加入了3-10纳米厚的Pt分离层,克服了传统复制工艺中由于分离困难而只能制备Au或Pt单层金属膜镜以及Pt/C周期膜镜的不足,使常用的X射线多层膜材料都可用于超薄超光滑反射镜的复制,厚度3-10纳米的Pt分离层对硬X射线的吸收

专利类型:发明专利

专利号:CN201110053529.6

专利申请(专利权)人:同济大学

专利发明(设计)人:穆宝忠;王占山;王芳芳;杨夏军;金慧俊

主权项:一种基于铂分离层的多层膜反射镜,其特征在于,该反射镜由铂分离层(2)、X射线多层膜(3)、环氧树脂层(4)及铝片基底(5)构成。

专利地区:上海