快速分离的微型气相色谱柱集成芯片专利登记公告

专利名称：快速分离的微型气相色谱柱集成芯片

摘要：本发明公开了一种快速分离的微型气相色谱柱集成芯片，涉及气相色谱柱集成芯片技术，包括微型色谱柱、组合式微型加热器、组合式微型温度传感器、。基于MEMS技术，在硅基底上经深刻蚀或化学腐蚀形成微型色谱柱的沟道，再与玻璃键合密封形成微型色谱柱，在键合之前，先在微型色谱柱的沟道内及沟道所在基底底部集成组合式微型加热器，通过组合加热，能够实现快速升温及提高微型色谱柱的分离速度和分离性能。同时，在微型色谱柱的沟道上、下表面及沟道中集成组合式微型温度传感器，实时响应微型色谱柱内气体样品的温度，从而利于外部控制电路实时调节

专利类型：发明专利

专利号：CN201110055612.7

专利申请（专利权）人：中国科学院电子学研究所

专利发明（设计）人：崔大付;孙建海;蔡浩原;张璐璐;陈兴;任艳飞;李辉

主权项：一种快速分离的微型气相色谱柱集成芯片，包括微型色谱柱沟道(1)、组合式微型加热器(2a)、(2b)、(2c)、组合式微型温度传感器(3a，3b，3c)、气体进样口(4)、气体出样口(5)，其特征在于：微型色谱柱是基于MEMS技术，首先在基底(6)上通过深刻蚀或者化学腐蚀形成微型色谱柱的沟道(1)，再与另一基底(7)键合形成微型色谱柱；组合式微型加热器中的第一微型加热器(2a)集成在微型色谱柱的沟道(1)中，并位于所述基底(7)的键合面上，组合式微型加热器中的第二微型加热器(2b)集成在所述基底(6)的底部

专利地区：北京