一种大尺寸紫外级氟化钙单晶的生长方法及装置专利登记公告

专利名称：一种大尺寸紫外级氟化钙单晶的生长方法及装置

摘要：一种大尺寸紫外级氟化钙单晶的生长方法及其装置，将提拉法(CZ)、坩埚下降法、泡生法和温梯法(TGT)各优点结合在一起，采用顶部籽晶中心可调提拉结构、双加热纯金属发热体、双控温加热系统，创造一个可动态调节温度梯度和温场中心的特殊高温真空晶体炉，通过装炉、抽高真空、升温化料、洗籽晶、提拉法下种、提拉法“缩径工艺”、提拉法“放肩工艺”、泡生法“等径工艺”、TGT法等径生长(控径技术为CZ称重)、CZ法收尾&脱坩埚、退火，生长出大尺寸高品质紫外级氟化钙单晶。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110055752.4

专利申请（专利权）人：元亮科技有限公司

专利发明（设计）人：柳祝平;黄小卫

主权项：一种大尺寸紫外级氟化钙单晶的生长方法及其装置，其特征在于：采用顶部籽晶中心可调提拉结构、双加热纯金属发热体、双控温加热系统，创造一个可动态调节温度梯度和温场中心的特殊高温真空晶体炉。

专利地区：江苏