一种制作声表面波传感器敏感膜的方法专利登记公告

专利名称：一种制作声表面波传感器敏感膜的方法

摘要：本发明公开了一种制作声表面波传感器敏感膜的方法，是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上，通过电子束蒸发和剥离光刻胶形成敏感膜，该敏感膜是由TiO2和WO3构成的聚合敏感膜。利用本发明，通过将TiO2加入WO3中制作聚合敏感膜，掺杂后的WO3/TiO2传感器敏感膜与纯的WO3传感器敏感膜相比，灵敏度和检测质量有一定的提高，也使得常温下使用WO3去检测NO2气体变为可能。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110063380.X

专利申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所

专利发明（设计）人：李冬梅;汪幸;刘明;周文;侯成诚;闫学锋;谢常青;霍宗亮;张满红

主权项：一种制作声表面波传感器敏感膜的方法，用于检测NO2气体，其特征在于，该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上，通过电子束蒸发和剥离光刻胶形成敏感膜，该敏感膜是由TiO2和WO3构成的聚合敏感膜。

专利地区：北京