加热器专利登记公告

专利名称：加热器

摘要：本发明公开了一种用于超临界流体精密清洗的加热器，该加热器包括加热盘、加热元件和均热板，其中：加热盘，采用石英材料制备；均热板，采用石英材料制备，位于加热盘的上方，加热盘和均热板固定连接，加热盘和均热板之间形成空腔；加热元件，设置于加热盘和均热板之间的空腔内。本发明加热器中，由于石英材料稳定的构成及其物理性质，保证了待加热衬底和加热元件的可靠隔离，从而避免了在衬底中引入污染。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110064381.6

专利申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所

专利发明（设计）人：郭新贺;景玉鹏

主权项：一种加热器，其特征在于，该加热器包括加热盘、加热元件和均热板，其中：所述加热盘，采用石英材料制备；所述均热板，采用石英材料制备，位于所述加热盘的上方，所述加热盘和所述均热板固定连接，所述加热盘和所述均热板之间形成空腔；所述加热元件，设置于所述加热盘和所述均热板之间的空腔内。

专利地区：北京