微波等离子体激发装置专利登记公告

专利名称：微波等离子体激发装置

摘要：本发明公开一种微波等离子体激发装置，包括一等离子体反应腔室、一金属窗框、具有多个窗口的多个窗格、多个微波发射机以及多个导波管。所述金属窗框设置于等离子体反应腔室的一面。窗格设置于金属窗框的窗口内，微波发射机则设置于等离子体反应腔室外。而导波管分别连接各个微波发射机与各个窗格，以构成多个等离子体激发单元。另外，在金属窗框上分别放置多个永久磁铁，则可使上述微波等离子体激发装置用作可大面积化的电子回旋共振等离子体装置。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110065895.3

专利申请（专利权）人：财团法人工业技术研究院

专利发明（设计）人：张志振;黄昆平;谢宇泽

主权项：一种微波等离子体激发装置，包括：等离子体反应腔室；金属窗框，设置于该等离子体反应腔室的一面，且该金属窗框具有多个窗口；多个窗格，设置于该金属窗框的该些窗口内；多个微波发射机，设置于该等离子体反应腔室外；以及多个导波管，分别连接该些微波发射机之一与该些窗格之一，以构成多个等离子体激发单元。

专利地区：台湾