旋涂装置专利登记公告

专利名称：旋涂装置

摘要：本发明公开了一种旋涂装置。该旋涂装置包括：密封舱；安装在密封舱内的平衡部件；模具夹具，其连接在平衡部件上面；用于驱动平衡部件和模具夹具的驱动电机；旋涂剂注入装置，其安装在密封舱的外表面上；真空装置，其用于对密封舱进行抽真空和解真空处理；以及平衡检测装置，其与旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110087650.0

专利申请（专利权）人：京东方科技集团股份有限公司;苏州京东方茶谷电子有限公司

专利发明（设计）人：赵长春

主权项：一种旋涂装置，包括：密封舱；平衡部件，其安装在所述密封舱内；模具夹具，其安装在所述平衡部件上面，用于装夹待涂覆旋涂剂的模具；驱动电机，其主轴与平衡部件相连接，用于驱动整个密封舱；旋涂剂注入装置，其安装在所述密封舱的外表面上；真空装置，其用于将所述密封舱进行抽真空和解真空处理；以及平衡检测装置，其与所述旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。

专利地区：北京