一种检测装置及其工作方法专利登记公告

专利名称：一种检测装置及其工作方法

摘要：本发明提供了一种检测装置及其工作方法，涉及机械技术领域，为提高检测效率而发明。本发明提供的检测装置，包括：测试腔和交换腔，所述测试腔和交换腔之间设置有连通机构，所述连通机构能够使所述测试腔和所述交换腔彼此隔离或连通；所述测试腔内和交换腔内分别设有用于传送探针框架的传动装置，所述传动装置能够将所述探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。本发明适用于电子束矩阵检测等检测设备中。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110101164.X

专利申请（专利权）人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司

专利发明（设计）人：魏振;朱承达;权基瑛

主权项：一种检测装置，其特征在于，包括测试腔和交换腔，所述测试腔和交换腔之间设置有连通机构，所述连通机构能够使所述测试腔和所述交换腔彼此隔离或连通；所述测试腔内和交换腔内分别设有用于传送探针框架的传动装置，所述传动装置能够将所述探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。

专利地区：北京