用于检测图案缺陷的设备专利登记公告

专利名称：用于检测图案缺陷的设备

摘要：公开了一种用于检测图案缺陷的设备。该用于检测图案缺陷的设备包括：光源，产生并发射光；扫描镜，将从光源发射的光扫描到板；荧光图像检测器，检测在板上发荧光的荧光图像；以及散射光图像检测器，检测在板上散射的散射光图像，从而可在曝光过程期间容易地检测图案缺陷。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110132347.8

专利申请（专利权）人：三星电机株式会社

专利发明（设计）人：金泽兼;朴首雄;朴珍远

主权项：一种用于检测图案缺陷的设备，该设备包括：光源，该光源用于产生并发射光；扫描镜，该扫描镜用于将从所述光源发射的光扫描到板；荧光图像检测器，该荧光图像检测器用于检测在所述板上发荧光的荧光图像；以及散射光图像检测器，该散射光图像检测器用于检测在所述板上散射的散射光图像。

专利地区：韩国