SF₆分离回收装置及方法专利登记公告

专利名称：SF₆分离回收装置及方法

摘要：本发明涉及一种通过利用多个分离膜模块的多阶段的分离及回收工序，分离成高浓度的SF6的同时又可提高回收率的SF6分离回收装置及分离回收方法。根据本发明的SF6分离回收装置包括可去除包含SF6的废气中含有的二氧化硫(SO2)及水分的气体预处理装置、将上述废气分离成第一回收气体和第一其他气体的第一分离膜模块、将上述第一回收气体分离成第二回收气体和第二其他气体的第二分离膜模块、储藏通过上述第一分离膜模块分离的第一其他气体的其他气体储存罐、从上述其他气体储存罐中供应接收第一其他气体并将第一其他气体分离成SF6和其他

专利类型：发明专利

专利号：CN201110157724.3

专利申请（专利权）人：韩国科学技术研究院

专利发明（设计）人：李相协;李贤姃;李重基;禹柱满;崔在佑;金瀚徶;李旻佑;李玄京;崔浩尚

主权项：一种SF6分离回收装置，其特征在于，包括：气体预处理装置，其去除包含SF6的废气中所含有的二氧化硫(SO2)及水分；第一分离膜模块，其将所述废气分离成第一回收气体和第一其他气体；第二分离膜模块，其将所述第一回收气体分离成第二回收气体和第二其他气体；其他气体储存罐，其对被所述第一分离膜模块分离的第一其他气体进行储存；第三分离膜模块，其将从所述其他气体储存罐所供应接收的第一其他气体分离成SF6和其他气体，其中，所述第一回收气体和第二回收气体分别比第一其他气体和第二其他气体含有高浓度的SF6。

专利地区：韩国