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碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶专利登记公告


专利名称:碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶

摘要:本发明提供一种碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶,在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。因此,在显影时不会有耐热树脂残留,从而提高显影的效果。而且,酚醛环氧丙烯酸酯结构还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。

专利类型:发明专利

专利号:CN201110162205.6

专利申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司

专利发明(设计)人:舒适;薛建设;赵吉生;李琳;田肖雄

主权项:一种碱可溶性树脂,其特征在于,在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。

专利地区:北京