压力测量单元专利登记公告
专利名称:压力测量单元
摘要:本发明涉及一种用于对测量压力进行测量的压力测量单元(1),包括具有至少一个基体电极(4、5)的基体(2)以及包括与基体(2)连接而构成传感器室(10)的膜片体(3),该膜片体具有至少一个膜片电极(6)并且能被处在测量压力下的介质施加压力,其中,传感器室(10)的由基体(2)形成的壁和传感器室(10)的由膜片体(3)形成的壁用保护层(7、8)覆盖,按本发明,所述保护层(7、8)构造成玻璃层。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110274847.5
专利申请(专利权)人:VEGA格里沙贝两合公司
专利发明(设计)人:J·雅各布;M·梅勒尔特;J·费伦巴赫;T·德克;T·科普
主权项:用于对测量压力进行测量的压力测量单元(1),包括具有至少一个基体电极(4、5)的基体(2)以及包括与基体(2)连接而构成传感器室(10)的膜片体(3),该膜片体具有至少一个膜片电极(6)并且能被处在测量压力下的介质施加压力,其中,传感器室(10)的由基体(2)形成的壁和传感器室(10)的由膜片体(3)形成的壁用保护层(7、8)覆盖,其特征在于,所述保护层(7、8)构造成玻璃层。
专利地区:德国
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