一种用于薄膜太阳能电池的划线方法及其设备专利登记公告

专利名称：一种用于薄膜太阳能电池的划线方法及其设备

摘要：本发明涉及一种划线技术，尤其涉及用于薄膜太阳能电池生产的划线方法及其设备。该方法包括三道划线P1、P2和P3，P1划线使用激光对透明导电氧化物膜层进行划线，P2划线使用激光对半导体膜层进行划线，而三道划线P1、P2和P3均在半导体镀膜之后和背电极镀膜之前的时间内进行，P1划线穿越半导体膜层和透明导电氧化物膜层形成第一沟槽；P2划线穿越半导体膜层形成与第一沟槽相平行的第二沟槽；P3划线使用可溶材料在半导体膜层上形成与第二沟槽相平行的可溶线条作为预备层。用于薄膜太阳能电池的划线设备，在同一个机械平台上整合了激

专利类型：发明专利

专利号：CN201110304763.1

专利申请（专利权）人：上方能源技术（杭州）有限公司

专利发明（设计）人：赵军;梅芳

主权项：一种用于薄膜太阳能电池的划线方法，包括在透明导电氧化物膜层上进行半导体镀膜形成半导体膜层、在所述半导体镀膜上进行背电极镀膜形成背电极膜层以及三道划线P1、P2和P3，P1划线使用激光对所述透明导电氧化物膜层进行划线，P2划线使用激光对所述半导体膜层进行划线，其特征在于：所述三道划线P1、P2和P3均在所述半导体镀膜之后和所述背电极镀膜之前的时间内进行，所述P1划线穿越所述半导体膜层和所述透明导电氧化物膜层形成第一沟槽；所述P2划线穿越所述半导体膜层形成与所述第一沟槽相平行的第二沟槽；所述P3?划线使用可溶

专利地区：浙江