狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置专利登记公告

专利名称：狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置

摘要：本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110306371.9

专利申请（专利权）人：日新离子机器株式会社

专利发明（设计）人：井内裕;土肥正二郎

主权项：一种狭缝电极，包括：电极框体，具有开口部；以及多个电极单元，能装拆地安装在所述电极框体上，所述狭缝电极的特征在于，各电极单元包括：多根电极棒，并列设置在所述开口部内；以及一组电极棒支承构件，隔着所述开口部支承各电极棒的长度方向的端部。

专利地区：日本