流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法专利登记公告

专利名称：流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法

摘要：本发明提供一种流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法。可以提高具有流量测量设备和控制设备的流量测量系统的养护性。流量测量系统(100)包括MFC(2)以及管理该MFC(2)的控制设备(3)，所述MFC(2)包括：流量传感器(21)以及相关数据存储部(D1)，该相关数据存储部(D1)用于存储流量计算相关数据，该流量计算相关数据用于使用了由所述流量传感器(21)得到的测量数据的流体计算，所述控制设备(3)从所述相关数据存储部(D1)取得所述流量计算相关数据，并使用所述流量传感器(21)的所述测量数据和

专利类型：发明专利

专利号：CN201110319279.6

专利申请（专利权）人：株式会社堀场STEC

专利发明（设计）人：松浦和宏;高仓洋;古川幸正;安田忠弘

主权项：一种流体测量系统，具有流体测量设备及管理该流体测量设备的控制设备，其特征在于，所述流体测量设备包括流体传感器以及相关数据存储部，该相关数据存储部存储流体计算相关数据，该流体计算相关数据用于使用了由所述流体传感器得到的测量数据的流体计算，所述控制设备从所述相关数据存储部取得所述流体计算相关数据，并使用所述流体传感器的所述测量数据和所述流体计算相关数据进行流体计算。

专利地区：日本