形状测定传感器专利登记公告

专利名称：形状测定传感器

摘要：本发明提供一种形状测定传感器，用于测定检查对象物(100)的表面形状，该形状测定传感器(1)具有：探针(11)，其被支承为能够沿自身的轴方向滑动，通过沿轴方向进行滑动来追踪所述检查对象物(100)的表面形状；静压轴承(12)，其将所述探针(11)支承为能够沿轴方向滑动；以及止挡部(60)，其能够将所述探针(11)切换为定位保持在其滑动范围内的中间部的期望位置的第一状态和不干涉所述探针(11)的滑动的第二状态。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110329047.9

专利申请（专利权）人：奥林巴斯株式会社

专利发明（设计）人：长池康成;小林宏史

主权项：一种形状测定传感器，该形状测定传感器用于测定检查对象物的表面形状，其中，该形状测定传感器具有：探针，其被支承为能够沿自身的轴方向滑动，通过沿所述轴方向进行滑动来追踪所述检查对象物的表面形状；轴承部，其将所述探针支承为能够沿所述轴方向滑动；以及探针保持机构，其能够将所述探针切换为定位保持在其滑动范围内的中间部的期望位置的第一状态和不干涉所述探针的滑动的第二状态。

专利地区：日本