一种超薄石英晶体相位延迟板的生产方法专利登记公告

专利名称：一种超薄石英晶体相位延迟板的生产方法

摘要：本发明提出了一种成品率高、质量稳定的超薄石英晶体相位延迟板的生产方法，该方法依次包括原料检验、晶体外形设计、角度定向、晶片切型设计、多线切割、晶片外形加工、晶片研磨、抛光、清洗、镀膜、胶合成型、检测、包装、入库工序，关键在于抛光工序中，首先将待抛光晶片胶合在基板上，然后再进行抛光作业；清洗工序中，首先将基板与晶片分离，然后再对晶片进行清洗。将待抛光的单片石英晶体胶合在基板上增加其机械强度，然后再进行抛光，保证晶片具有极好的平行度，透射比高，抗光损伤阈值高，机械性能好，在温差范围大的使用场合中表现得特别稳定

专利类型：发明专利

专利号：CN201110349432.X

专利申请（专利权）人：昆山明本光电有限公司

专利发明（设计）人：冷志红

主权项：一种超薄石英晶体相位延迟板的生产方法，依次包括原料检验、晶体外形设计、角度定向、晶片切型设计、多线切割、晶片外形加工、晶片研磨、抛光、清洗、镀膜、胶合成型、检测、包装、入库工序，其特征在于所述抛光工序中，首先将待抛光晶片胶合在基板上，然后再进行抛光作业；所述清洗工序中，首先将基板与晶片分离，然后再对晶片进行清洗。

专利地区：江苏