基板处理装置、程序、计算机存储介质和基板的输送方法专利登记公告

专利名称：基板处理装置、程序、计算机存储介质和基板的输送方法

摘要：本发明提供一种即时地判断处理部有无异常并防止产生有大量的次品晶片的涂敷显影处理装置，其包括：晶片输送机构；缺陷检查部；控制晶片的输送的输送控制单元(200)；基于缺陷的状态进行该缺陷的分类的缺陷分类单元(203)；存储晶片被处理单元处理时的晶片输送机构的晶片的输送路径的存储单元(202)；和缺陷处理指定单元(204)，其基于由缺陷分类单元(203)分类的缺陷的种类和存储在存储单元(202)的基板的输送路径，指定产生有该被分类的缺陷的处理单元，并判定该被指定的处理部有无异常，输送控制单元(200)以绕过被缺

专利类型：发明专利

专利号：CN201110351996.7

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：早川诚;富田浩;吉田达平

主权项：一种基板处理装置，其包括：处理基板的多个处理部；输送基板的基板输送机构；检查基板处理已结束的基板表面的缺陷的缺陷检查部；和控制所述基板处理输送机构的基板的输送的输送控制单元，该基板处理装置的特征在于，还包括：基于缺陷的检查结果进行缺陷的分类的缺陷分类单元；存储所述处理部进行基板处理时的所述基板输送机构的基板的输送路径的存储单元；和缺陷处理指定单元，其根据由所述缺陷分类单元分类的缺陷的种类和存储于所述存储单元的基板的输送路径，指定成为该被分类的缺陷产生原因的处理部，进而，判定该被指定的处理部有无异常，所述输

专利地区：日本