光致抗蚀剂组合物专利登记公告

专利名称：光致抗蚀剂组合物

摘要：本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，更具体地，涉及一种包含(a)5～30重量％的酚醛清漆树脂；(b)2～10重量％的二叠氮类感光性化合物；(c)1～70重量％的二烷基醚(dialkyl?ether)类共溶剂；及(d)余量的有机溶剂的光致抗蚀剂组合物，其在真空干燥时不会形成倒锥形，具有优异的涂布均匀度，而且能够防止产生涂布斑点。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110353244.4

专利申请（专利权）人：株式会社东进世美肯

专利发明（设计）人：金升起;边滋勋;金炳郁;金东敏;李原荣;诸葛银;朴柱京;朱相一;咸先美;李斗渊;朴一圭;郑起和;金京浩;洪宇成

主权项：一种光致抗蚀剂组合物，其包含：a)5～30重量％的酚醛清漆树脂；b)2～10重量％的二叠氮类感光性化合物；c)1～70重量％的由下述化学式1表示的共溶剂；以及d)余量的有机溶剂，[化学式1]在所述化学式1中，R1为氢或具有1～10个直链或侧链碳原子的烷基，R2为具有1～10个直链或侧链碳原子的烷基或烯丙基。FSA00000609975600011.tif

专利地区：韩国