检查方法专利登记公告

专利名称：检查方法

摘要：本发明公开一种检查方法。为了检查板，首先在板上设定测量区域，并且获取测量区域的基准数据和测量数据。然后，通过块单元建立多个特征块，以便包含测量区域中的预定形状；通过合并特征块中的重叠的特征块来建立合并块。此后，通过将与除合并块以外的特征块和/或合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度；以及补偿变形度，以便在目标测量区域中设定检查区域。因此，可正确地设定补偿了变形的检查区域。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110376349.1

专利申请（专利权）人：株式会社高永科技

专利发明（设计）人：黄凤夏

主权项：一种检查方法，包括：在板上设定测量区域；获取所述测量区域的基准数据和测量数据；通过块单元建立多个特征块以便包含所述测量区域中的预定形状；通过合并所述特征块中的重叠的特征块来建立合并块；通过将与除所述合并块以外的所述特征块和/或所述合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度；以及补偿所述变形度，以便在目标测量区域中设定检查区域。

专利地区：韩国