正型感光性树脂组合物及永久抗蚀剂专利登记公告

专利名称：正型感光性树脂组合物及永久抗蚀剂

摘要：本发明提供正型感光性树脂组合物，其含有作为基础树脂的具有羧基和/或酚性羟基的聚硅氧烷化合物、作为感光性成分的感光性重氮醌化合物、和有机溶剂，其特征在于，含有环氧硅氧烷化合物，所述环氧硅氧烷化合物为将下述通式(1)所示的基团彼此、或者下述通式(1)所示的基团与下述通式(2)所示的基团用从在1分子中具有2～4个乙烯基的化合物中去除了乙烯基而成的残基进行连结而得到的。(式中，R1表示可以相同也可以不同的碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，E表示具有环氧基的基团，a表示2～5的数。)(式中，b表示使

专利类型：发明专利

专利号：CN201110378382.8

专利申请（专利权）人：株式会社艾迪科

专利发明（设计）人：森田博;竹之内宏美;小林纯;尾见仁一

主权项：一种正型感光性树脂组合物，其含有作为基础树脂的具有羧基和/或酚性羟基的聚硅氧烷化合物、作为感光性成分的感光性重氮醌化合物、和有机溶剂，其特征在于，含有环氧硅氧烷化合物，所述环氧硅氧烷化合物为将下述通式(1)所示的基团彼此、或者下述通式(1)所示的基团与下述通式(2)所示的基团用从在1分子中具有2～4个乙烯基的化合物中去除了乙烯基而成的残基进行连结而得到的环氧硅氧烷化合物，式中，R1表示可以相同也可以不同的碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，E表示具有环氧基的基团，a表示2～5的数，式中，b表

专利地区：日本