具有光稳性聚合物终点检测窗的化学机械抛光垫及相应的抛光方法专利登记公告

专利名称：具有光稳性聚合物终点检测窗的化学机械抛光垫及相应的抛光方法

摘要：本发明提供一种化学机械抛光垫，包括：具有抛光表面的抛光层；和光稳性聚合物终点检测窗，该检测窗包括含有氨基部分的芳香聚胺与异氰酸酯封端、含有未反应-NCO部分的预聚多元醇进行聚氨酯反应的产物，以及包括至少一种UV吸收剂和受阻胺光稳定剂的光稳定剂成分；其中以＜95％的氨基部分与未反应-NCO部分的化学计量比来提供芳香聚胺和异氰酸酯封端的预聚多元醇；其中光稳性聚合物终点检测窗在持续等轴拉伸载荷为1kPa、60。℃恒温100分钟时测定具有≤0.02％的依时应变并且在380纳米的波长下对于1.3mm的窗厚度具有≥1

专利类型：发明专利

专利号：CN201110393259.3

专利申请（专利权）人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

专利发明（设计）人：A·洛亚克;A·纳卡塔尼;M·J·库尔普;D·G·凯利

主权项：一种化学机械抛光垫，所述抛光垫包括：具有抛光表面的抛光层；和，光稳性聚合物终点检测窗，该检测窗包括：含有胺部分的芳香多胺与异氰酸酯封端、含有未反应?NCO部分的预聚多元醇的聚氨酯反应产物；以及，含有至少一种UV吸收剂和受阻胺光稳定剂的光稳定剂成分；其中以＜95％的胺部分与未反应?NCO部分的化学计量比来提供芳香多胺和异氰酸酯封端的预聚多元醇；其中光稳性聚合物终点检测窗在恒定轴向拉伸载荷为1kPa、60℃恒温100分钟时测定具有≤0.02％的依时应变并且在380纳米的波长对于1.3mm的窗厚度具有≥15％的

专利地区：美国