一种无铅压电薄膜材料及其制备方法专利登记公告

专利名称：一种无铅压电薄膜材料及其制备方法

摘要：一种无铅压电薄膜材料，其成分和化学式为(Ba0.9CaxSr0.1-x)(Ti0.87NbyFe0.13-y)O3的铌铁钛酸钡钙锶薄膜材料，式中0＜x＜0.1，0＜y＜0.13。本材料由改进的溶胶-凝胶法制备溶胶，溶胶通过旋涂工艺成膜并经退火处理得到。本材料压电系数d33达320pC/N，此外还具有低漏电流、表面致密、没有微裂纹且晶粒尺寸大小均匀和强电滞效应等优点，本发明对铁电薄膜在微电子领域中的应用具有重大意义。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110397145.6

专利申请（专利权）人：合肥工业大学

专利发明（设计）人：石敏;钟家刚;许育东;王雷

主权项：一种无铅压电薄膜材料，其特征在于：其成分和化学式为(Ba0.9CaxSr0.1?x)(Ti0.87NbyFe0.13?y)O3的铌铁钛酸钡钙锶薄膜材料，式中0＜x＜0.1，0＜y＜0.13。

专利地区：安徽