用于清洁薄晶圆的旋转夹盘专利登记公告

专利名称：用于清洁薄晶圆的旋转夹盘

摘要：公开了一种用于清洁薄晶圆的器件和系统。一种优选实施例包括旋转夹盘，该旋转夹盘具有至少三个固定卡具。带有晶圆框架的薄晶圆通过胶带层安装在旋转夹盘上。当固定卡具打开时，晶圆框架的移除和放置不会受到阻碍。另一方面，当固定卡具锁定时，该固定卡具与晶圆框架的外边缘相接触，从而防止晶圆框架横向移动。而且，处于锁定状态的固定卡具的形状能够防止晶圆框架纵向移动。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110397985.2

专利申请（专利权）人：台湾积体电路制造股份有限公司

专利发明（设计）人：林俞良;吴文进;林俊成;邱文智

主权项：一种用于清洁薄晶圆的器件，包括：旋转夹盘，所述旋转夹盘包括：圆形平板，沿着所述圆形平板的边缘具有至少三个延长件；至少三个固定卡具，安装在所述延长件上，其中，在第一位置中，每个所述固定卡具打开，而通过将所述固定卡具从所述第一位置转动到第二位置，每个所述固定卡具锁定；以及转动的传动轴，连接到所述圆形平板。

专利地区：台湾