气体浓度调节装置和气体浓度调节方法专利登记公告

专利名称：气体浓度调节装置和气体浓度调节方法

摘要：本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流

专利类型：发明专利

专利号：CN201110407489.0

专利申请（专利权）人：株式会社堀场STEC

专利发明（设计）人：桥本雄一郎;宫地润一

主权项：一种气体浓度调节装置，通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，其特征在于，所述气体浓度调节装置包括：第一气体管线，设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量；第二气体管线，设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量；输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接，该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流

专利地区：日本