光学薄膜损伤阈值的测试系统专利登记公告
专利名称:光学薄膜损伤阈值的测试系统
摘要:本发明涉及一种光学薄膜损伤阈值的测试系统。该光学薄膜损伤阈值的测试系统包括一个脉冲激光器、一个衰减片、一个会聚透镜、一个窗口镜、一个分束镜、一个全反镜、一个能量计、一个第一图像采集装置和一个第二图像采集装置,所述激光器输出的光束经过所述衰减片衰减后透射到所述会聚透镜,经过所述会聚透镜会聚后的光束依次经过所述窗口镜、所述分束镜透射并经过所述全反镜反射进入到待测光学薄膜上,经过所述窗口镜反射的光束进入所述第一图像采集装置,经过所述分束镜反射的光束进入所述能量计,所述第二图像采集装置采集所述待测光学薄膜表面的图
专利类型:发明专利
专利号:CN201110418574.7
专利申请(专利权)人:北京国科世纪激光技术有限公司
专利发明(设计)人:樊仲维;朱光
主权项:一种光学薄膜损伤阈值的测试系统,其特征在于,该测试系统包括一个脉冲激光器、一个衰减片、一个会聚透镜、一个窗口镜、一个分束镜、一个全反镜、一个能量计、一个第一图像采集装置和一个第二图像采集装置,所述激光器输出的光束经过所述衰减片衰减后透射到所述会聚透镜,经过所述会聚透镜会聚后的光束依次经过所述窗口镜、所述分束镜透射并经过所述全反镜反射进入到待测光学薄膜上,经过所述窗口镜反射的光束进入所述第一图像采集装置,经过所述分束镜反射的光束进入所述能量计,所述第二图像采集装置采集所述待测光学薄膜表面的图像信息。
专利地区:北京
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