用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置专利登记公告
专利名称:用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置
摘要:本发明公开了一种用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置,包括氦质谱检漏仪,顺次相连的真空滑阀泵、罗茨泵、高真空挡板阀和集合管,及用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置,其特征在于:在所述集合管上至少设有三个连接管路,每个所述连接管路上设有用于关闭和开启该连接管路的阀FA,在该阀FA下方的连接管路上设有与所述氦质谱检漏仪可拆卸连接的接口JA,在该接口JA上设有用于关闭和开启该接口JA的阀FB,每个所述连接管路的下端设有与待测容器入口可拆卸连接的接口JB。本发明可以减少工作程序,缩短工作时间
专利类型:发明专利
专利号:CN201110421245.8
专利申请(专利权)人:杭州中泰深冷技术股份有限公司
专利发明(设计)人:钟晓龙
主权项:一种用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置,包括氦质谱检漏仪(1),顺次相连的真空滑阀泵(2)、罗茨泵(3)、高真空挡板阀(4)和集合管(5),及用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置,其特征在于:在所述集合管(5)上至少设有三个连接管路(6),每个所述连接管路(6)上设有用于关闭和开启该连接管路(6)的阀FA(7),在该阀FA(7)下方的连接管路(6)上设有与所述氦质谱检漏仪(1)可拆卸连接的接口JA(8),在该接口JA(8)上设有用于关闭和开启该接口JA(8)的阀FB(9),每个所述
专利地区:浙江
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