一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法专利登记公告

专利名称：一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法

摘要：本发明涉及一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法，该方法利用KoreaExpert公司生产的全自动VPD前处理设备，配合Agilent公司Agilent7700系列电感耦合等离子体质谱仪对8英寸抛光片的表面超微量金属Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ba、Pb含量进行检测，相对传统的手动VPD方法，应用全自动VPD系统能够大大的降低外来金属离子引入的可能性，获得稳定的回收率，提高测试精度，实现对8英寸硅单晶抛光片全元素、超微量的检测，检出限均低于1

专利类型：发明专利

专利号：CN201110423459.9

专利申请（专利权）人：天津中环领先材料技术有限公司

专利发明（设计）人：吴晓明;吕莹;王国瑞;张晋英

主权项：一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法，其特征在于：利用KoreaExpert公司生产的全自动VPD前处理设备，配合Agilent公司Agilent?7700系列电感耦合等离子体质谱仪对8英寸（直径200mm）抛光片的表面超微量金属Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ba、Pb含量进行检测，所述方法包括如下步骤：步骤1：设置VPD设备参数为：HF?VPD?时间??300s；扫描速率??10mm/s；扫描间距??10mm；扫描范围??0?100mm；扫

专利地区：天津