分割方法专利登记公告
专利名称:分割方法
摘要:本发明提供一种分割方法,其能够提高通过蓝宝石晶片的分割而形成的发光器件的辉度。本发明的分割方法构成为包括:变质层形成工序,在该变质层形成工序中,在表面上层叠有发光层(412)的蓝宝石晶片(W)的内部形成沿着分割预定线的变质层(402);和倒角分割工序,在该倒角分割工序中,在蓝宝石晶片(W)的背面(Wb)形成沿着分割预定线的切削槽(401),从而以变质层(402)为起点将蓝宝石晶片(W)分割成一个个的发光器件(411),利用在倒角分割工序中形成的切削槽(401),使各个发光器件(411)的背面侧的角部成为被
专利类型:发明专利
专利号:CN201110424234.5
专利申请(专利权)人:株式会社迪思科
专利发明(设计)人:冈村卓;星野仁志
主权项:一种蓝宝石晶片的分割方法,所述蓝宝石晶片在蓝宝石基板上层叠有发光层,并且在该发光层,在由呈格子状地形成的多个分割预定线划分出的各区域形成了发光器件,所述蓝宝石晶片的分割方法的特征在于包括:变质层形成工序,在该变质层形成工序中,一边将相对于蓝宝石晶片具有透射性的波长的激光束的聚光点定位在蓝宝石晶片的内部,一边从蓝宝石晶片的背面侧沿所述分割预定线照射激光束,由此沿该分割预定线在蓝宝石晶片内部形成变质层;和倒角兼分割工序,在该倒角兼分割工序中,在实施了所述变质层形成工序之后,利用切削刀具从蓝宝石晶片的背面侧沿所
专利地区:日本
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