生产细硅棒的方法与装置专利登记公告

专利名称：生产细硅棒的方法与装置

摘要：本发明涉及生产细硅棒的方法与装置。该方法包括以下步骤：a)提供硅棒；b)接着，采用锯装置从棒切割具有特定厚度的板，其中，在两个连续切割之间分别绕轴线旋转棒90°或180°，使得在四个连续切割中，四个切割中的两个分别成对地在棒的径向相对侧进行，或其中板的切割同时一起在棒的径向相对侧进行；c)将切割的板锯切成具有矩形横截面的细棒。从硅棒通过锯来生产细棒的装置包含：第一单元，包括多重切割工具和用于冷却切割工具的冷却液；第二单元，包括用于引导附加的冷却液进入要加工的工件的切缝的喷嘴，以及第三单元，包括带锯或线锯或

专利类型：发明专利

专利号：CN201110424941.4

专利申请（专利权）人：瓦克化学股份公司

专利发明（设计）人：布鲁诺·利希滕埃格尔;马塔乌斯·尚茨

主权项：一种生产细硅棒的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供硅棒；b)接着，采用锯装置从所述棒切割具有特定厚度的板，其中，在两个连续切割之间分别绕轴线旋转所述棒90°或180°，使得在四个连续切割中，所述四个切割中的两个分别成对地在所述棒的径向相对侧进行，或其中所述板的切割同时一起在所述棒的径向相对侧进行；c)将切割的所述板锯切成具有矩形横截面的细棒。

专利地区：德国