用于再生氢传感器的方法和装置专利登记公告
专利名称:用于再生氢传感器的方法和装置
摘要:本发明涉及用于再生氢传感器的方法和装置。再生方法涉及氢传感器,所述传感器包括栅极被钯催化剂覆盖的MOS型晶体管并被置入低压腔内。在检测到泄漏后,通过电子电路向述晶体管的所述栅极上施加电压,从而再生催化剂。所述电子电路包括:低频DC发生器和用于进行“测量”模式与“再生”模式的互相转换的开关。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110425258.2
专利申请(专利权)人:阿迪森真空产品公司
专利发明(设计)人:K·帕特尔;D·皮埃尔让
主权项:一种用于再生氢传感器的方法,所述传感器包括栅极被钯催化剂覆盖的MOS型晶体管并被置入具有低于5000Pa的压力的腔内,在检测到泄漏后,通过电子电路向所述晶体管的所述栅极施加电压,从而再生所述催化剂。
专利地区:法国
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