靶材组件的制作方法专利登记公告

专利名称：靶材组件的制作方法

摘要：一种靶材组件的制作方法，所述方法包括：提供材料为钛的靶材；对靶材表面进行喷砂处理；对经过喷砂处理后的靶材表面进行活化处理；对经过活化处理后的靶材表面进行水洗处理；利用化学镀工艺，在水洗处理后的靶材表面上形成金属镀层；将形成有金属镀层的靶材焊接至背板，以形成靶材组件。利用化学镀以在靶材的焊接面上形成金属镀层，金属镀层作为中间媒介，使得靶材与背板焊接后实现二者的牢固结合，并具有较高的结合强度。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110425928.0

专利申请（专利权）人：余姚康富特电子材料有限公司

专利发明（设计）人：潘杰;姚力军;王学泽;潘靖

主权项：一种靶材组件的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供靶材，所述靶材的材料为钛；对所述靶材表面进行喷砂处理；对经过所述喷砂处理后的所述靶材表面进行活化处理；对经过所述活化处理后的所述靶材表面进行水洗处理；利用化学镀工艺，在水洗处理后的靶材表面上形成金属镀层；将形成有金属镀层的靶材焊接至背板，以形成靶材组件。

专利地区：浙江