用于测量旋转率的微型机械传感器以及相应的方法专利登记公告

专利名称：用于测量旋转率的微型机械传感器以及相应的方法

摘要：本发明涉及一种用于测量旋转率的微型机械传感器。所述微型机械传感器包括：-第一和第二地震质量，其中，第一和第二地震质量借助弹簧元件彼此连接，-用于在第一平面中驱动第一和第二地震质量的第一和第二驱动装置，其中，至少一个驱动装置基本以恒定的间距与至少其中一个地震质量连接，-用于补偿垂直于第一平面地作用到第一和/或第二驱动装置的干扰力的补偿装置。本发明也涉及一种用于测量旋转率的方法，用于制造微型机械传感器的方法，以及微型机械传感器的应用。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110432509.X

专利申请（专利权）人：罗伯特·博世有限公司

专利发明（设计）人：T.奥姆斯;R.舍本;T.林德曼;D.C.梅塞尔;B.施密特

主权项：用于测量旋转率的微型机械传感器，包括：??第一和第二地震质量（2a、2b），其中，第一和第二地震质量（2a、2b）借助弹簧元件（3）彼此连接，??用于在第一平面（E）中驱动第一和第二地震质量（2a、2b）的第一和第二驱动装置（1a、1b），其中，至少一个驱动装置（1a、1b）与地震质量（2a、2b）中的至少一个连接，??用于补偿垂直于第一平面（E）地作用到第一和/或第二驱动装置（1a、1b）的干扰力的补偿装置（5a、5b），??用于测量旋转率的测量装置（M）。

专利地区：德国