一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用专利登记公告

专利名称：一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用

摘要：本发明公开了一种高抛光速率的用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液，包含有磨料、pH值调节剂、表面活性剂、消泡剂和去离子水；以所述抛光液总重量为基准计，所述磨料的含量为1~50wt%，所述表面活性剂的含量为0.005-1wt%，所述消泡剂的含量为20~200ppm。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石衬底进行抛光，可以使得蓝宝石衬底粗糙度小于0.2nm，抛光速率大于5μm/h，并可有效消除凹坑、突起、划痕等表面缺陷。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110433696.3

专利申请（专利权）人：上海新安纳电子科技有限公司

专利发明（设计）人：张泽芳;刘卫丽;宋志棠

主权项：一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液，包括磨料、碱性pH值调节剂、表面活性剂、消泡剂和去离子水；以所述抛光液总重量为基准计，所述磨料的含量为1～50wt％，所述表面活性剂的含量为0.005?1wt％，所述消泡剂的含量为20～200ppm。

专利地区：上海