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热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器专利登记公告


专利名称:热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器

摘要:本发明提供一种热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器。该热式光检测器的特征在于具有:基板;支撑部件,经由空腔部支撑在基板上;热检测元件,形成在支撑部件上;光反射层,与热检测元件分离,形成在支撑部件上的热检测元件的周围区域的至少一部分处;光吸收层,形成在热检测元件和光反射层上;以及热传递部件,所述热传递部件具备集热部,所述集热部通过连接部与热检测元件连接,俯视时具有比连接部大的面积,并至少对一部分波长区域的光具有光透过性且具有形成在光吸收层的内部的集热部。

专利类型:发明专利

专利号:CN201110436400.3

专利申请(专利权)人:精工爱普生株式会社

专利发明(设计)人:土屋泰

主权项:一种热式光检测器,其特征在于,具有:基板;支撑部件,经由空腔部支撑在所述基板上;热检测元件,形成在所述支撑部件上;光反射层,与所述热检测元件分离,形成在所述支撑部件上的所述热检测元件的周围区域的至少一部分处;光吸收层,形成在所述热检测元件和所述光反射层上;以及热传递部件,所述热传递部件具备集热部,所述集热部通过连接部与所述热检测元件连接,俯视时具有比所述连接部大的面积,并至少对一部分波长区域的光具有光透过性且形成在所述光吸收层的内部的集热部。

专利地区:日本