OTS法制备BiFeO₃薄膜的方法专利登记公告

专利名称：OTS法制备BiFeO₃薄膜的方法

摘要：本发明提供了一种OTS法制备BiFeO3薄膜的方法，(1)将FTO基片清洗后，紫外照射20min，再用OTS-甲苯溶液匀胶制备OTS分子膜；(2)以硝酸铋、硝酸铁为原料，分别溶于乙二醇甲醚和冰醋酸中，形成前驱液；(3)在基片上用前驱液进行匀胶处理后，在350℃的高温下进行预处理3min以便有机物的分解，再在500℃退火3min。然后重复几次，得到设定的薄膜厚度。本发明设备要求简单，实验条件容易达到，适用于粘度较高、不易成膜的体系，制备的薄膜均匀性较好。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110441591.2

专利申请（专利权）人：陕西科技大学

专利发明（设计）人：谈国强;程蒙

主权项：一种OTS法制备BiFeO3薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：选用FTO/glass基片为基底，将切割好的FTO/glass基片清洗干净；步骤2：将洁净的FTO/glass基片置于紫外光照射仪中照射20min，使基片表面达到“原子清洁度”；步骤3：将步骤2处理后的FTO/glass基片用体积浓度为0.5?1.0％的OTS?甲苯溶液进行匀胶处理，然后热处理，以去除基片表面多余的甲苯和OTS，留下OTS单分子层，然后照射紫外光，对表面进行改性，备用；步骤4：将Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO

专利地区：陕西