开尔文测试载片台专利登记公告

专利名称：开尔文测试载片台

摘要：本发明涉一种开尔文测试载片台，其特征在于：在圆盘状绝缘载片本体上还镶嵌了测试接触电极和测试引线接口；测试接触电极是由若干环状导电材料构成，各环状导电材料之间相互绝缘，所述环状导电材料上部的环形平面中心加工有一条环形真空槽，在每一条环形真空槽上加工有一个真空通孔；真空通孔通过可延伸至圆盘状绝缘载片本体体外的内部通孔与真空接口连接；在不改变现有芯片测试方法的基础上，通过对测试载片台的结构进行改造，使开尔文电路的检测线及激励线与被测器件芯片之间的接触表面尽量做到无隙接触，有效降低芯片测试时由于测试载片台引起的电

专利类型：发明专利

专利号：CN201110441647.4

专利申请（专利权）人：天津中环半导体股份有限公司

专利发明（设计）人：戴胜强;李子科;张新玲;田凯

主权项：一种开尔文测试载片台，包括圆盘状绝缘载片本体，其特征在于：在圆盘状绝缘载片本体（11）上还镶嵌了测试接触电极和测试引线接口；所述圆盘状绝缘载片本体（11）为圆盘状，圆盘状绝缘载片本体（11）上的测试接触电极是由若干环状导电材料（12）构成，各环状导电材料（12）之间相互绝缘，分别镶嵌在圆盘状绝缘载片本体（11）上；在每一个所述环状导电材料（12）上部的环形平面中心加工有一条环形真空槽（13），在每一条环形真空槽（13）上加工有一个真空通孔（16）；真空通孔（16）的下部连通一条处于圆盘状绝缘载片本体（11

专利地区：天津