一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法专利登记公告

专利名称：一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法

摘要：本发明公开了一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法，硅片切割废砂浆先添加降黏剂，进行固液分离得到一级悬浮液和一级固体颗粒，一级固体颗粒再添加降黏剂进行二级固液分离，进一步除去固体颗粒中的切割液成分，得到二级固体颗粒，二级固体颗粒加水然后依次进行超声清洗、旋流分离，旋流分离得到硅粉悬浮液和碳化硅悬浮液，碳化硅悬浮液依次进行离心分离、碱反应清洗、离心分离、离心水洗、干燥和干法分级，最后得到可循环使用的碳化硅产品。旋流分离得到硅粉悬浮液经过板框过滤得到硅粉固体颗粒和水，水返回二级固体颗粒使用。二级固液分离得

专利类型：发明专利

专利号：CN201110444298.1

专利申请（专利权）人：双流新源圣光科技有限公司

专利发明（设计）人：孟庆华;鄢洪建

主权项：一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法，其特征在于：步骤1，将主要成分是碳化硅、聚乙二醇和硅粉的废砂浆和降黏剂按照质量分数比3：10～4：10进行搅拌，制得悬浮液，然后进行固液分离得到一级悬浮液和一级固体颗粒；所述一级悬浮液的主要成分为聚乙二醇、硅粉、降粘剂，一级固体颗粒的主要成分为碳化硅、硅粉和聚乙二醇；步骤2，将步骤1得到的一级固体颗粒加入降黏剂，降黏剂和一级固体颗粒按照质量分数比2：1～3：1进行搅拌，制得悬浮液，然后进行固液分离得到二级悬浮液和二级固体颗粒，二级悬浮液返回步骤1利用；所述二级悬

专利地区：四川