一种长寿命的微流红外SO₂传感器专利登记公告

专利名称：一种长寿命的微流红外SO₂传感器

摘要：本发明涉及一种长寿命的微流红外SO2传感器，包括红外光源系统、采样气室、窄带滤光片、微流红外SO2探测器，所述的微流红外SO2探测器包括微流量探测器、三个窗口及气室，三个窗口将气室分隔成前气室、后气室及补偿气室，微流量探测器位于连通前气室、后气室的通道上，前气室与补偿气室间有连通道，前气室、后气室、补偿气室中均填充具有SO2特征吸收光谱线特点的非SO2气体。本发明采用价格低廉的通用MEMS微流量探测器芯片，用CH4、C2H2、iC4、nC4气体中的一种或多种的混合气代替SO2作为填充气，解决了以往微流红外

专利类型：发明专利

专利号：CN201110446224.1

专利申请（专利权）人：武汉四方光电科技有限公司

专利发明（设计）人：刘志强;熊友辉;何涛;石平静

主权项：一种长寿命的微流红外SO2传感器，包括红外光源系统、采样气室、窄带滤光片、微流红外SO2探测器，所述的微流红外SO2探测器包括微流量探测器、三个窗口及气室，三个窗口将气室分隔成前气室、后气室及补偿气室，微流量探测器位于连通前气室、后气室的通道上，前气室与补偿气室间有连通道，其特征在于前气室、后气室、补偿气室中均填充具有SO2特征吸收光谱线特点的非SO2气体。

专利地区：湖北