供应原材料的分配设备及方法专利登记公告

专利名称：供应原材料的分配设备及方法

摘要：本发明提供一种用于供应原材料的分配设备及方法。分配设备包含经配置以将原材料涂覆在衬底上的分配器；经配置以将原材料供应到分配器中的原材料供应模块；一端连接到原材料供应模块且另一端连接到分配器的供应管线，供应管线经配置以将从原材料供应模块供应的原材料供应到分配器中；以及经配置以检测供应管线内的压力以利用供应管线内的测得压力控制从原材料供应模块供应到供应管线中的原材料的供应流动速率的控制模块。因此，分配设备可实时检测供应管线内的压力以实时检测原材料的供应状态。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110446952.2

专利申请（专利权）人：AP系统股份有限公司

专利发明（设计）人：刘正必;崔锺权;尹青龙

主权项：一种分配设备，包括：分配器，经配置以将原材料涂覆在衬底上；原材料供应模块，经配置以将所述原材料供应到所述分配器中；供应管线，一端连接到所述原材料供应模块且另一端连接到所述分配器，所述供应管线经配置以将从所述原材料供应模块供应的所述原材料供应到所述分配器中；以及控制模块，经配置以检测所述供应管线内的压力，以利用所述供应管线内的测得压力控制从所述原材料供应模块供应到所述供应管线中的所述原材料的供应流动速率。

专利地区：韩国