一种可控还原气氛泡生炉专利登记公告

专利名称：一种可控还原气氛泡生炉

摘要：本发明公开了一种可控还原气氛泡生炉，所述泡生炉包括软件控制系统、电控系统、提拉系统、压力平衡系统、断电保护系统、冷却系统、旋转称重系统、真空充气炉室和温场系统，其特征在于：还包括一套低真空压力平衡系统。本发明通过引入低真空压力平衡系统，对传统泡生法设备的真空系统、控制系统、温场系统和保护系统重新整合，可以实现晶体生长与退火一次完成，可有效解决热交换法和温梯法存在的碳元素和钼元素的污染问题，而且可避免在晶体生长过程中由外界带来的碳污染问题；利用本发明提供的可控还原气氛泡生炉，可生长大尺寸的光学级蓝宝石或钛宝

专利类型：发明专利

专利号：CN201110449563.5

专利申请（专利权）人：中国科学院上海硅酸盐研究所

专利发明（设计）人：邹宇琦;徐军;姜大鹏;李红军;苏良碧;郑丽和;唐慧丽;徐晓东;钱小波

主权项：一种可控还原气氛泡生炉，包括：软件控制系统、电控系统、提拉系统、压力平衡系统、断电保护系统、冷却系统、旋转称重系统、真空充气炉室和温场系统，软件控制系统连接称重旋转系统、电控系统和提拉系统，电控系统连接称重旋转系统、真空充气炉室、提拉系统、压力平衡系统和断电保护系统，冷却系统连接称重旋转系统、真空充气炉室、温场系统、提拉系统、压力平衡系统和断电保护系统，温场系统连接真空充气炉室；所述温场系统包括加热器、上保温屏、下保温屏和侧保温屏；所述真空充气炉室内设有坩埚，上保温屏、下保温屏和侧保温屏设置于坩埚的上下侧

专利地区：上海