用于设计用于真空环境的线性电机的系统和方法专利登记公告

专利名称：用于设计用于真空环境的线性电机的系统和方法

摘要：一种用于设计用于真空环境的线性电机的系统和方法。所述线性电机包括芯部和壳体。芯部包括多个冷却板和夹在多个冷却板之间的多个电线圈。芯部还包括定位在多个电线圈和多个冷却板之间的多个导热环氧树脂层，以及设置在多个电线圈和多个冷却板之间以确定多个电线圈和多个冷却板之间的距离的多个垫片。独立地并且在被组装到壳体内之前组装和测试芯部。壳体包围芯部，并且包括主体、多个馈通结构和盖。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110450010.1

专利申请（专利权）人：ASML控股股份有限公司

专利发明（设计）人：E·佐丹

主权项：一种系统，包括：芯部，包括：多个冷却板；多个电线圈，夹在所述多个冷却板之间；多个导热环氧树脂层，位于所述多个电线圈和所述多个冷却板之间；和多个垫片，设置在所述多个电线圈和所述多个冷却板之间以确定所述多个电线圈和所述多个冷却板之间的距离，其中芯部配置成在与壳体组装之前进行测试；和壳体，配置成包围芯部，所述壳体包括主体、多个馈通结构以及盖。

专利地区：荷兰