干涉式高密度圆光栅偏心检测装置专利登记公告

专利名称：干涉式高密度圆光栅偏心检测装置

摘要：干涉式高密度圆光栅偏心检测装置涉及精密仪器检测领域，该检测装置包括一号激光器(1)、一号准直镜(2)、副光栅盘(4)、一号光电接收器(5)、二号光电接收器(6)、二号准直镜(7)、二号激光器(8)、主轴(9)、轴套(10)、光栅连接座(11)和示波器。利用光栅盘使单束光线发生两次衍射后再发生干涉，光电接收器接收干涉条纹信号后可以在示波器中得到正弦信号，根据不同相位正弦信号的合成，即可检测出主光栅盘偏心位置及偏心量。本发明可以检测密度高于125线对/mm的计量光栅盘，使编码器光机结构的机械装调方便，使光栅计

专利类型：发明专利

专利号：CN201110451038.7

专利申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

专利发明（设计）人：艾华;曹艳波

主权项：干涉式高密度圆光栅偏心检测装置，其特征在于，该检测装置包括一号激光器(1)、一号准直镜(2)、副光栅盘(4)、一号光电接收器(5)、二号光电接收器(6)、二号准直镜(7)、二号激光器(8)、主轴(9)、轴套(10)、光栅连接座(11)和示波器；待检测的主光栅盘(3)固定在主轴(9)的平台上，副光栅盘(4)固定在光栅连接座(11)上；光栅连接座(11)固定在轴套(10)上，光栅连接座(11)与轴套(10)同轴；轴套(10)与主轴(9)同轴，通过轴承动连接；副光栅盘(4)与主轴(9)通过光栅连接座(11)和轴

专利地区：吉林