靶材及其形成方法专利登记公告
专利名称：靶材及其形成方法
摘要：一种靶材及其形成方法，靶材的边缘具有斜角区。本发明通过对靶材边缘进行斜角处理，增加靶材边缘的附着表面积，使反溅射物质能更均匀、更平缓的附着在斜角区的斜面上，防止局部附着物过厚导致剥落，大大的减少了溅射反应器中高真空腔室内异常放电的情况。
专利类型：发明专利
专利号：CN201110455069.X
专利申请（专利权）人：余姚康富特电子材料有限公司
专利发明（设计）人：潘杰;姚力军;王学泽;郑文翔
主权项：一种靶材，其特征在于，所述靶材边缘具有斜角区。
专利地区：浙江
关于上述专利公告申明 : 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目，不代表该专利由我公司代理取得，上述专利权利属于专利权人，未经（专利权人）许可，擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利，请搜索专利权人联系方式，获得专利权人的授权许可。